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戶外照明光源光效提高方法
- 專利號:2020101544893 類型:發(fā)明專利 瀏覽:25次 發(fā)布時間:2025-12-19
本發(fā)明提供了一種戶外照明光源光效提高方法,包括依次在基板上形成半結(jié)晶性層、未摻雜層、N型摻雜層、有源層、P型摻雜層;所述有源層包括周期性重疊的量子阱層和量子壘層,量子阱層為銦鎵氮層,量子壘層為氮化鎵層,形成至少其中之一量子阱層后通入銦源,通入銦源后通入碳源,通入碳源后形成量子壘層。本發(fā)明通過在形成量子阱層后通入銦源,在銦鎵氮表面形成銦處理層,銦處理層上通入碳源,高溫下碳源分解并與銦處理層接觸形成碳二維結(jié)構(gòu),銦處理層與碳二維結(jié)構(gòu)結(jié)合一方面進(jìn)一步增加量子阱層勢阱深度,同時提高載流子濃度和遷移率,進(jìn)而改善內(nèi)量子效率,提高光源光效。
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